キヤノンは、メモリーやロジック向けの半導体露光装置の新製品として、KrF（※1）スキャナー“FPA-6400ES6a”を2026年12月上旬に発売します。

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キヤノン株式会社「KrF半導体露光装置“FPA-6400ES6a”を発売　高い生産性と業界最高水準の重ね合わせ精度を実現」

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本記事は企業・団体の発表をもとにPR HEADLINE編集部が整理したものです。数値や計画は発表時点の内容であり、変更される場合があります。