壊れやすい金属有機構造体（MOF）の微細加工に成功～イオン液体で構造を安定化し、ビームによる損傷を抑制～

【研究の要旨とポイント】 金属有機構造体（MOF）は高い機能性を有する一方で、電子線やイオンビームに弱く、微細加工の際に損傷し、分解してしまうことが大きな課題でした。

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本記事は企業・団体の発表をもとにPR HEADLINE編集部が整理したものです。数値や計画は発表時点の内容であり、変更される場合があります。